我国高端镀膜装备实现自主突破，首台8.5代电致变色薄膜设备下线

产线验收落地，首台设备成功下线

北京新景昇智联科技有限公司（以下简称“新景昇”）的8.5代电致变色薄膜产线近日完成重大攻关节点验收，并成功下线首台设备。这一进展标志着我国大面积连续磁控溅射镀膜核心装备实现重大突破，补齐了产业链上游的关键短板。

电致变色薄膜：电压调控光学的功能材料

电致变色薄膜是一种可通过电压可逆调节光学状态的功能薄膜，可应用于建筑节能、交通调光以及集成电路与光电器件等领域。其工作原理是：在小电压（约1.2至3V）驱动下，锂离子在电致变色层与反向电致变色层之间移动，分别与两个变色层发生稳定可逆的氧化及还原反应，从而调节玻璃的反射率、透光率和吸收率等，控制进入室内的光线与热量。

8.5代产线的难点在于大尺寸基板上多层薄膜的均匀性和连续量产稳定性，而此类高端镀膜装备长期依赖进口。所谓“8.5代”指的是玻璃基板的世代规格，第8.5代玻璃基板尺寸为2200毫米×2500毫米，世代越高代表可加工的基板尺寸越大。该设备所采用的大面积连续磁控溅射工艺属于物理气相沉积（PVD）的一种，是在真空环境下使靶材原子沉积到基板表面从而生长出薄膜的制备方法。

八年攻关，膜厚均匀性控制在2%以内

据悉，历经八年攻关，新景昇自研的8.5代电致变色薄膜设备可实现超大基板多层薄膜连续制备，膜厚均匀性控制在2%以内。接下来，该设备将运往哈尔滨景烁智能科技有限公司开展工艺验证，支撑全固态电致变色薄膜产业化落地。

新景昇是北京经开区重点引进培育的半导体装备标杆企业，专注于大面积镀膜技术及成套设备的研发制造，主营EC（电致变色）玻璃相关技术与产品开发。全固态无机电致变色薄膜可应用于建筑幕墙、汽车后视镜、新能源车天幕玻璃、AR/VR眼镜等领域，实现玻璃透光度的自主调节。

区域产业链支撑，集成电路产值快速增长

北京经开区集成电路领域目前已形成覆盖设计、制造、封测、装备、材料、零部件等环节的完整产业链。今年1至9月，经开区实现集成电路产业产值1667亿元，同比增长100%。

从装备下线到工艺验证，国产高端镀膜设备的自主化路径正逐步走通，为电致变色薄膜在多场景的规模化应用提供了上游支撑。